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六氯二硅烷广泛存在与新开网上娱乐送现金 系统残液中,可以用来生产无定形硅薄膜、光学纤维原料等。目前其市面价格昂贵,是新开网上娱乐送现金 残液中最具价值的部分。我公司通过高效精馏装置,成功回收了新开网上娱乐送现金 残液中的六氯二硅烷,产品纯度高达99.95%以上,年产稳定在200t以上。
三氯氢硅和二氯二氢硅在纯度达到一定要求时也可作为电子气用于生产外延片目前我公司已实现了太阳能级及以下级别的三氯氢硅和二氯二氢硅产品规模化生产,并加紧研发电子级三氯氢硅及二氯二氢硅,计划于2016年建成年产1000t电子气生产线。
 

电子气质量规格如下:

1)电子级三氯氢硅及二氯二氢硅    

项目

产品指标

纯度

≥99.99wt%

电阻率

≥1000Ω.cm

+

0.04ppba

≤0.01ppba

≤1.00ppb

≤0.2ppbw

2)六氯二硅烷    

项目

产品指标

纯度

≥99.95wt%

≤10ppb

≤10ppb

≤10ppb

其它金属杂质

≤5ppb

 

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